高純水與紫外線殺菌技術

時間:2009-09-03 來源:中國電子工程設計院 作者:沈健

摘 要:紫外線殺菌裝置在電子工業高純水制造工藝中得到廣泛應用。本文對紫外線殺菌原理、殺菌效果的影響因素、殺菌裝置的構造等方面進行了討論,并介紹了近年來開發的箱內浸水式殺菌裝置。

關鍵字:電子工廠;高純水;紫外線;殺菌;飲用水

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